Estimation of process parameter variations in a pre-defined process window using a Latin hypercube method.
نام
Estimation of process parameter variations in a pre-defined process window using a Latin hypercube method.
زبان اثر
انگلیسی
شناسگر
10.1007/s00158-016-1454-x (شماره مدرک)
10.1007_s00158-007-0136-0 (importid)
ناشر
تاریخ انتشار
2008
قالب (کتاب)
کتاب